Glossar

A

Absolutdruck
P (abs) bezeichnet den Druck, verglichen mit einem perfekten Vakuum.

Ansprechzeit
Die Zeit, die eine Messeinrichtung benötigt, um von einem vorherigen Wert zu einem neu vorgegebenen Wert, innerhalb eines bestimmten Toleranzbandes korrekt zu wechseln.

B

Baudrate
Die Geschwindigkeit des Datentransfers von Instrumenten mit einem Feldbus

Bypass
Most of Bronkhorst's thermal mass flow meters/controllers operate on a principle where the gas flow is split in two, leading a small part through a sensor channel and the remainder through the parallel main channel, in a constant ratio. Due to a perfect 'flow split' the sensor indicates a highly accurate measuring value over the entire range of the instrument.

C

CVD (Chemical vapour deposition)
Chemische Gasphasenabscheidung. Bezeichnet einen chemischen Prozess, bei dem ein Gas reagiert und einen dünnen Film auf dem entsprechenden Substrat, beispielsweise einer Siliziumscheibe, hinterlässt. Dieses Verfahren kommt auch bei der Oberflächenhärtung oder der Herstellung synthetischer Diamanten zum Einsatz.

CEM (Controlled Evaporator Mixer)
Das Verdampfersystem von Bronkhorst besteht aus einem Fllüssigkeitsdurchflussmesser, einem Gasdurchflussregler für den Trägergasstrom und einer Mischkammer mit Temperaturregelung

Coriolis Prinzip
Das Prinzip der direkten Massenflussmessung, basierend auf dem Corioliseffekt. Die Corioliskraft verursacht in einem in Schwingung versetzten Omegarohr eine Veränderung der Frequenz, eine Phasenverschiebung oder Amplitude. Das Ausgangssignal des Sensors ist proportional zum Massendurchfluss.

D

Druckdifferenz (ΔP oder Delta-P)
Zwei unterschiedliche Drücke die in einem System auftreten, beispielsweise zwischen dem Ein- und dem Auslauf einer Messvorrichtung, oder eines Regelventils, oder zweier unterschiedlicher Versorgungsleitungen.

E

Einschwingzeit / Einstellzeit
Die Zeit, die ein Durchfluss oder Druckregler benötigt, um einen vorgegebenen Sollwert einzustellen und zu halten.

EPT (Electronic Pressure Transducer)
Elektronischer Druckmessumformer, auch Druckmesser genannt

EPC (Electronic Pressure Controller)
Elektronischer Druckregler. Ein Druckmesser mit integriertem Regelventil.

F

FS = Full Scale (Skalenendwert)
Die Annäherung des Messwertes zum maximalen Skalenwert, ausgedrückt als +/- Prozent. Sehen Sie auch: +/- Prozent vom Full-Scale (vom Endwert oder v.E.) vs Prozent vom Messwert (v.M).

G

Genauigkeit
Die Annäherung des ausgelesenen Istwertes im Verhältnis zum tatsächlichen Flow. Angegeben in +/- Prozent vom Fullscale (FS), output oder reading.

Gauge = Druckeinheit
Der Druckunterschied zwischen dem System und der umgebenden Atmosphäre.

HPLC (High Pressure Liquid Chromatography)
Ein häufig verwendetes Analyseverfahren, um den exakten Anteil einer chemischen Komponente in einer Fluidprobe zu bestimmen.

I

IP40
Ist eine bestimmte Schutzklasse. Schutz vor Partikeln die größer als 1 mm sind, jedoch kein Schutz vor Feuchtigkeit.

IP65
Ist eine bestimmte Schutzklasse (Wetterfest). Schutz vor Staub und Spritzwasser.

J

 

K

Kalibrierung
Das Justieren eines Instrumentes, sodass der ausgegebene Messwert und die tatsächlich gemessene Menge korrelieren.

Konversionsfaktoren
Die Bronkhorst High-Tech B.V. stellt Ihnen zum errechnen von Konversionsfaktoren eine eigens entwickelte Datenbank, mit mehr als 600 gespeicherten Fluiddaten zur Verfügung. Mithilfe der Applikationssoftware Fluidat on the Net, für die Sie sich kostenlos registrieren lassen können, ist es Ihnen möglich verschiedenste Berechnungen durchzuführen.
  Umrechnungsfaktoren für Gase und Flüssigkeiten mit Bronkhorst Durchflussmessern
  Kv-Werte und Düsengrößen für Ventile
  Druckverluste über Inline-Filter
  Berechnungen für das Verdampfersystem CEM

L

Lageempfindlichkeit
Der Fehler, welcher bei einer bestimmten Einbaulage enstehen kann. (max. Fehler bei 90°)

Laminar Flow Element
Bezeichnet ein Bauteil im Hauptstrom eines thermischen Massendurchflussmessers oder –reglers. Durch die hierbei entstehende Druckdifferenz wird ein definierter Teil des Mediums durch den Sensorkanal, parallel zum Hauptstrom, geleitet.

Lastimpedanz
Die Impedanz der elektrischen Anschlüsse eines Instrumentes

ln/min und ls/min
Hört man den Begriff Massendurchfluss, so stellt man sich in der Regel Einheiten wie kg/h oder g/min und dergleichen vor. Betrachtet man jedoch die Praxis, stellt man fest, das dass Arbeiten mit Volumeneinheiten vorherrscht. Nun musste man sich nur noch auf Normbedingungen einigen, bei denen Masse in Volumen umgerechnet werden sollte. Als Normbedingungen wurden 0 °C und ein Druck von 1013 mbar festgelegt. Gekennzeichnet werden die betreffenden Volumeneinheiten durch den tiefgestellten Buchstaben n: ln/min.
Eine weitere Festlegung zur Umrechnung von Masse in Volumen sind die Standardbedingungen, die auf 20 °C anstatt auf 0 °C bezogen sind und entsprechend mit einem s anstelle des n gekennzeichnet sind: ls/min.
ACHTUNG: Wird der Unterschied ln/min und ls/min nicht beachtet, resultiert hieraus ein Fehler von ca. 7%.

M

Manifold
Ein Basisblock, auf dem eine große Variation verschiedenster Funktionsmodule, wie Gas- Flüssigkeits- oder Druckmesser und –regler, sowie Filter und Mischkammern, kompakt verbaut werden kann.

Masse
Die Menge einer bestimmten Substanz in (Kilo)gramm angegeben.

MFC (Massflowcontroller)
Die Kombination eines Durchflussmessers und eines Regelventils für die Regelung von Gas- und Flüssigkeitsströmen.

MFM (Massflowmeter)
Durchflussmesser zum erfassen von Masseströmen im Gegensatz zu Volumenströmen.

Momentandurchfluss
Der Durchfluss, angegeben in Mengeneinheit des Mediums per Zeiteinheit. Dem gegenüber steht der prozentuale Durchfluss. Aktueller und prozentualer Durchfluss sind über die Bronkhorst Auswerteelektroniken frei wählbar (Bright / E-7000 / E-8000)

N

Nachdruckregelung
Die Regelung des Druckes auf der Ausgangsseite des Instruments

Node
Jede einzelne Komponente in einem Bussystem.

Nullpunktstabilität (Zero Drift)
Die Verschiebung vom tatsächlichen Nullpunkt. Langsame, in der Regel nicht periodische Verschiebung des Nullpunktes bei Messinstrumenten.

O

P

Prozentualer Durchfluss
Der Durchfluss, angegeben in einem Prozentwert, bezogen auf den Full-Scale Durchfluss. Dem gegenüber steht der Momentandurchfluss.

Q

R

Rd = Reading (Messwert)
Die Annäherung des Messwertes im Verhältnis zum tatsächlichen Durchfluss, ausgedrückt als +/- Prozent. Sehen Sie auch: +/- Prozent vom Full-Scale (vom Endwert oder v.E.) vs Prozent vom Messwert (v.M).

S

Stellverhältnis / Turndown
Die prozentuale Spanne (2…100%) , oder das Verhältnis maximaler/minimaler Durchfluss (1:50), bei dem die angegebene Genauigkeit garantiert werden kann.

Surface Mount / Top-mount
Die Montage eines Instrumentes auf einem Basisblock (beispielsweise einem Manifold), aufgrund derer ein Ausbau des Instrumentes aus der Rohrleitung, im Falle von Inspektion oder Austausch, überflüssig wird.

T

Thermisches Messprinzip
Beim thermischen Messprinzip wird ein Teil des zu messenden Gas- oder Flüssigkeitsstroms partiell erhitzt. Hierdurch ensteht eine Temperaturdiffernez (Delta-T) welche durch zwei Temperatursensoren erfasst wird. Dieses Delta-T ist proportional dem Massefluss. Da dieses Prinzip auf dem Wärmeaustausch basiert, besteht eine Abhängigkeit zur Dichte und Wäremleitfähigkeit des Messmediums. Aus diesem Grund wird ein jeder thermischer Durchflussmesser und Regler für das entsprechende Medium und die vorherschenden Bedingungen, kalibriert. Der Effekt von Druck oder Temperaturschwankungen ist im Vergleich zu volumetrischen Messprinzipien sehr gering, sollte jedoch für eine optimale Genauigkeit nicht vernachlässigt werden. Konversionsfaktoren oder zusätzlich hinterlegte Kalibrierkurven sind in diesem Fall enorm hilfreich.

Top-mount / Surface Mount
Die Montage eines Instrumentes auf einem Basisblock (beispielsweise einem Manifold), aufgrund derer ein Ausbau des Instrumentes aus der Rohrleitung, im Falle von Inspektion oder Austausch, überflüssig wird.

U

Umgebungsbedingungen
Temperatur und Druckbedingungen am Einsatzort des Instruments.

V

Volumetrischer Durchfluss
Der Durchfluss ausgedrückt in Volumeneinheit per Zeiteinheit. Das einzige Messprinzip, welches tatsächlich den direkten Volumenstrom misst, ist der Gasbalgenzähler.

Vordruckregler
Regelung des Druckes auf der Eingangsseite des Druckreglers.

W

Wiederholbarkeit
Die Variabilität einer Spanne für den Messwert, bei einer sich ständig unter gleichbleibenden Bedingungen wiederholenden Messung.

X

Y

Z

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