Angebotsanfrage

EL-FLOW® metallisch gedichtete
Massendurchflussmesser und -Regler

Allgemein

Die metallisch gedichteten Massendurchflussmesser und -Regler der Bronkhorst High-Tech B.V. zeichnen sich durch ihre qualitativ hochwertige Oberflächengüte und eine modulare Konstruktionsweise aus. Darüber hinaus besitzen die Geräte eine einzigartige Metall-auf-Metall Abdichtungskonstruktion mit konstant hervorragenden Dichtungseigenschaften. Um den hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie (und anderen „high purity“ Anwendungen) gerecht zu werden, sind die Mess- und Regelgeräte mit einer digitalen Platine versehen, die mit einer flexiblen Schnittstelle (Multi-Bus-Technologie) ausgerüstet werden kann. Die Basisplatine der Instrumente verfügt über alle Grundfunktionen, die zum messen und regeln benötigt werden. Die Geräte besitzen ein analoges Ein- und Ausgangssignal, sowie eine RS232 Schnittstelle als Standardausstattung. Zusätzlich besteht die Möglichkeit eine DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT und FLOW-BUS Schnittstelle direkt zu integrieren. Die neueste EL-FLOW® Generation bietet eine Multi-Gas/Multi-Range-Funktion, die gerade unseren (OEM) Kunden eine optimale Flexibilität und Prozesseffizienz bietet. Als Hilfe für unsere Kunden liefert Bronkhorst eine einfach zu bedienende Konfigurationssoftware.

Angebotsanfrage

  • Eigenschaften
  • Bereiche
  • Dokumentation

generelle Eigenschaften

  • medienberührte Teile elektropoliert
  • metallisch gedichtet (erneut abdichtbar ohne Ringe)
  • ¼“ VCR Verbindung
  • Reinraumgefertigt
  • schnelle Ansprechzeit (t98 herunter bis 500 msec)
  • exzellente Temperaturstabilität und Wiederholgenauigkeit
  • sehr stabiler Nullpunkt (kein Auto-Zero benötigt)
  • Messspannen von 0,12…6 mln/min bis zu 1…50 ln/min (basierend auf Luft)

digitale Eigenschaften

  • Analoge und digitale Kommunikation, mit optionaler Schnittstelle für DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT oder FLOW-BUS
  • Drehschalter um die Adressschnittstelle und die DeviceNet Datenrate zu wählen
  • RS232 und analoges Ein-/Ausgangssignal erhältlich
  • hohe Genauigkeit (Standard ±0,5% v.M. zzgl. ±0,1% v.E.)
  • Multi-Gas/Multi-Range Funktion
  • Zähl- und Alarmfunktionen
  • Einzellager Stromversorgung: +15 oder +24 Vdc

Durchflussbereiche (basierend auf Luft)

Massedurchflussmesser (MFM)

Bereiche

Modell F-111CM min. 0,12 ... 6 mln/min
max. 1 ... 50 ln/min

Massedurchflussregler (MFC)

Bereiche

Modell F-201CM min. 0,12 ... 6 mln/min
max. 1 ... 50 ln/min

Prospekte

Für mehr Information finden Sie hier den Prospekt "METAL SEALED Digital Mass Flow / Pressure Meters and Controllers"

Metallgedichtete Massendurchflussregler Modell F-201CM (MFC)Metallgedichtete Massendurchflussmesser Modell F-111CM