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EL-FLOW^® metallisch gedichtete
Massendurchflussmesser und -Regler

Allgemein

Die metallisch gedichteten Massendurchflussmesser und -Regler der Bronkhorst High-Tech B.V. zeichnen sich durch ihre qualitativ hochwertige Oberflächengüte und eine modulare Konstruktionsweise aus. Darüber hinaus besitzen die Geräte eine einzigartige Metall-auf-Metall Abdichtungskonstruktion mit konstant hervorragenden Dichtungseigenschaften. Um den hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie (und anderen „high purity“ Anwendungen) gerecht zu werden, sind die Mess- und Regelgeräte mit einer digitalen Platine versehen, die mit einer flexiblen Schnittstelle (Multi-Bus-Technologie) ausgerüstet werden kann. Die Basisplatine der Instrumente verfügt über alle Grundfunktionen, die zum messen und regeln benötigt werden. Die Geräte besitzen ein analoges Ein- und Ausgangssignal, sowie eine RS232 Schnittstelle als Standardausstattung. Zusätzlich besteht die Möglichkeit eine CANopen^®, DeviceNet™, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus, EtherCAT und FLOW-BUS Schnittstelle direkt zu integrieren. Die neueste EL-FLOW^® Generation bietet eine Multi-Gas/Multi-Range-Funktion, die gerade unseren (OEM) Kunden eine optimale Flexibilität und Prozesseffizienz bietet. Als Hilfe für unsere Kunden liefert Bronkhorst eine einfach zu bedienende Konfigurationssoftware.

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