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Angebotsanfrage
EL-FLOW® metallisch gedichtete
Massendurchflussmesser und -Regler
Allgemein
Die metallisch gedichteten Massendurchflussmesser und -Regler der Bronkhorst
High-Tech B.V. zeichnen sich durch ihre qualitativ hochwertige Oberflächengüte
und eine modulare Konstruktionsweise aus. Darüber hinaus besitzen die Geräte
eine einzigartige Metall-auf-Metall Abdichtungskonstruktion mit konstant
hervorragenden Dichtungseigenschaften. Um den hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie
(und anderen „high purity“ Anwendungen) gerecht zu werden, sind die Mess-
und Regelgeräte mit einer digitalen Platine versehen, die mit einer flexiblen
Schnittstelle (Multi-Bus-Technologie) ausgerüstet werden kann. Die Basisplatine
der Instrumente verfügt über alle Grundfunktionen, die zum messen und regeln
benötigt werden. Die Geräte besitzen ein analoges Ein- und Ausgangssignal,
sowie eine RS232 Schnittstelle als Standardausstattung. Zusätzlich besteht
die Möglichkeit eine DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT und FLOW-BUS
Schnittstelle direkt zu integrieren. Die neueste EL-FLOW® Generation
bietet eine Multi-Gas/Multi-Range-Funktion, die gerade unseren (OEM) Kunden
eine optimale Flexibilität und Prozesseffizienz bietet. Als Hilfe für unsere
Kunden liefert Bronkhorst eine einfach zu bedienende Konfigurationssoftware.
Angebotsanfrage
- Eigenschaften
- Bereiche
- Dokumentation
generelle Eigenschaften
- medienberührte Teile elektropoliert
- metallisch gedichtet (erneut abdichtbar ohne Ringe)
- ¼“ VCR Verbindung
- Reinraumgefertigt
- schnelle Ansprechzeit (t98 herunter bis 500 msec)
- exzellente Temperaturstabilität und Wiederholgenauigkeit
- sehr stabiler Nullpunkt (kein Auto-Zero benötigt)
- Messspannen von 0,12…6 mln/min bis zu 1…50 ln/min
(basierend auf Luft)
digitale Eigenschaften
- Analoge und digitale Kommunikation, mit optionaler Schnittstelle für
DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT oder FLOW-BUS
- Drehschalter um die Adressschnittstelle und die DeviceNet Datenrate
zu wählen
- RS232 und analoges Ein-/Ausgangssignal erhältlich
- hohe Genauigkeit (Standard ±0,5% v.M. zzgl. ±0,1% v.E.)
- Multi-Gas/Multi-Range Funktion
- Zähl- und Alarmfunktionen
- Einzellager Stromversorgung: +15 oder +24 Vdc
Durchflussbereiche (basierend auf Luft)
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Massedurchflussmesser (MFM)
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Bereiche
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| Modell F-111CM |
min. 0,12 ... 6 mln/min
max. 1 ... 50 ln/min |
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Massedurchflussregler (MFC)
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Bereiche
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| Modell F-201CM |
min. 0,12 ... 6 mln/min
max. 1 ... 50 ln/min |
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